二）安全系统方面用传感器

　　安全是汽车考虑的首要因素，用于安全方面的传感器也很多，如有用于汽车安全气囊的微型加速度计moc.861ehcoaz.www，测角速率的表面微机械陀螺等。

　　1．微加速度传感器

　　目前，安全气囊是而且将来也是MEMS技术的一个主要应用。所用的硅加速度计的量程一般为50gn。较早的如像摩托罗拉公司用体微细加工技术制作的硅加速度传感器。

　　瑞典Henrik等人报道了一种新型的硅微三轴加速度计，其外形结构参数为6mm×4mm× l.4 mm，它有4个敏感质量块，4个独立的信号读出电极和4个参考电极。它巧妙地利用了敏感梁在其厚度方向具有非常小的刚度而能够敏感加速度ARCHEAN.net版权所有，在其他方向刚度相对很大而不能敏感加速度的结构特征。在加速度计的横截面上，由于各向异性腐蚀的结果，敏感梁的厚度方向与加速度计的法线方向（z轴）成35.26° （tan 35.26°＝ 0.707）。

　2．表面微机械陀螺

　　传统的陀螺仪是由高速旋转的转子、内环、外环和基座组成，这种陀螺仪的内外环通常是用滚珠轴承支撑，这些通常是用机械加工方法制成http://www.iianews.com，需要加工精度高、难度大、而且，做成的陀螺仪体积大、质量重。微机械陀螺是具有复杂的检测与控制电路的MEMS装置。Said Emre A1 per等人报道了一种结构对称，并具有解耦特性的表面微机械陀螺。该敏感结构在其最外边的4个角都设置了支承“锚”，与传统的直接支承在“锚”上的实现方式不同，它利用一种对称结构敏感质量块支承在连接梁上moc.861ehcoaz.www，并通过梁将驱动电极和敏感电极有机地连接在一起。用微器件仿真软件包（MEMCAD）仿真分析后可知，两个方向上的振动相互不影响，所以，这样的连接方式不用考虑机械耦合。

　　该微机械陀螺的平面外轮廓的结构参数为1mm2，厚度仅为2μm。其工作原理是：当在敏感质量块上施加一直流偏置电压，在活动叉指和固定叉指间施加适当的交流激励电压时鬼知道，敏感质量块将在y轴方向上产生固有振动。当陀螺感受到绕z轴的角速度时，由于科氏效应，敏感质量块将产生沿x轴的附加振动。通过测量附加振动的振动幅值就可以得到被测的角速度。在常规的大气情况下，该敏感结构具有优于0.37°/s 的分辨力。

　　3．流量传感器

　　流量传感器主要用于发动机空气流量和燃料流量的测量。进气量是燃油喷射量计算的基本参数之一。空气流量传感器的功能：感知空气流量的大小，并转换成电信号传输给发动机的电子控制单元。空气流量的测量用于发动机控制系统确定燃烧条件、控制空燃比、起动、点火等。空气流量传感器有旋转翼片式、卡门涡旋式、热线式、热膜式等4种类型。空气流量传感器的主要技术指标：工作范围为 0.11m3/min～103m3/min造车网，工作温度为-40℃～120℃，精度＞1%。燃料流量传感器用于检测燃料流量，主要有水轮式和循环球式，其动态范围为0～60kg/h，工作温度为-40℃～120℃IPIonline.com.cn版权所有，精度为±1%，响应时间＜10ms。

Honeywell的下属微开关（micro switch）公司用热微细加工技术制作出了微桥式空气流量传感器芯片，它用微细加工技术在硅圆片上加工出空腔，铂电阻悬挂在空腔之上。当空气流过器件时，发生了从空气流动方向下方到上方的热传输，因而，下方电阻被冷却nc.qoos.www，上方电阻被加热，由电桥电阻变化可测量出空气流量。

　　4．位置和转速传感器

　　曲轴位置与转速传感器主要用于检测发动机曲轴转角、发动机转速、节气门的开度、车速等，为点火时刻和喷油时刻提供参考点信号，同时，提供发动机转速信号。目前，汽车使用的位置和转速传感器主要有交流发电机式、磁阻式、霍尔效应式、簧片开关式、光学式、半导体磁性晶体管式等，其测量范围为0°～360°造车网版权所有，精度优于±0.5°，测弯曲角达±0.1°。

　　车速传感器种类繁多，有敏感车轮旋转的、也有敏感动力传动轴转动的，还有敏感差速从动轴转动的。当车速高于100km/h时，一般测量方法误差较大，需采用非接触式光电速度传感器金属加工网版权所有，测速范围为0.5km/h～250km/h，重复精度为0.1%，距离测量误差优于为0.3%。

　　5．气体浓度传感器

　　气体浓度传感器主要用于检测车体内气体和废气排 放。其中，最主要的是氧传感器，它检测汽车尾气中的氧含 量，根据排气中的氧浓度测定空燃比工业自动化网版权所有，向微机控制装置发出 反馈信号，以控制空燃比收敛于理论值。常用的有氧化锗 传感器（使用温度为-40℃～900℃，精度为1%）、氧化铬浓差电池型气体传感器（使用温度为300℃～800℃）、固体电解 质式氧化铬气体传感器（使用温度为0～400℃，精度为0.5%），另外，还有二氧化钦氧传感器以及二氧化错氧传感器。和氧化锗传感器相比，二氧化钛氧传感器具有结构简单、轻巧、便宜塑料工业网，且抗铅污染能力强的特点。二氧化锆微离子传感器由氧化钙稳定氧化错离子体、多孔铂厚膜工作电极、钯/氧化把厚膜参数电极、不透水层、电极接触和保护层构成。其中，氧化钙稳定氧化错由反应溅射法积淀。工作电极和参考电极都由厚膜工艺制作。在理想的A/F点附近的输出电压发生骤变，当空燃比变高，废气中的氧浓度增加时，氧传感器的输出电压减小；当空燃比变低，废气中的氧浓度降低时moc.swenaii.www，氧传感器的输出电压增大。电子控制单元识别这一突变信号，对喷油量进行修正，从而相应地调节空燃比，使其在理想空燃比附近变动。

　　6．爆震传感器

　　爆震传感器用于检测发动机的振动，通过调整点火提前角控制和避免发动机发生爆震。为了最大限度地发挥发动机功率而不产生爆燃，点火提前角应控制在爆燃产生的临界值http://www.guizhidao.com，当发动机产生爆燃时，传感器将爆燃引起的震动转变成电信号，并传给电子控制单元。检测爆震有检测气缸压力、发动机机体振动和燃烧噪声等三种方法。爆震传感器有磁致伸缩式和压电式。磁致伸缩式爆震传感器的使用温度为-40℃～125℃，频率范围为5kHz～10kHz；压电式爆震传感器在中心频率5. 417kHz处，其灵敏度可达200 mV/gn，在振幅为0.1-10 gn范围内具有良好线性度。

　　7．节气门位置传感器

　　节气门位置传感器安装在节气门上http://www.zaoche168.com，其功能是将发动机节气门的开度信号转变成电信号，并传递给电子控制单元，用以感知发动机的负荷大小和加减速工况。最常用的是可变电阻式节气门位置传感器。该传感器是一种典型的节气门传感器，主要由一个线形变位器和一个怠速触点两部分组成。电阻变位器用陶瓷薄膜电阻制成，滑动触点用复位弹簧控制，与节气门同轴转动。工作时www.GUIZHIDAO.com，线形变位器的触点在电阻体上滑动，根据变化的电阻值，可以测得与节气门开度成正比的线性输出电压信号。根据输出电压值，电子控制单元可获知节气门的开度和开度变化率，从而精确 判断发动机的运行工况，提高控制精度和效果。怠速信号滑动触点是常开触点工业自动化网版权所有，只有在节气门全闭时才闭合，产生怠速触点信号，主要用于怠速控制、断油控制及点火提前角的修正。